结构检测
SEM电镜
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用途

USE

典型应用

1.样品表面的结构观察;
2.三维形貌测量。

原理

扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。

注意

导电性差的样品,观察前需要进行导电处理。

技术指标

Technical indicators

  • 放大倍数

    ×5-×300000;

  • 加速电压

    0.5KV-30KV;

  • 样品大小

    小于2英寸;

  • 最小分辨率

    10nm

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