USE
台阶仪用于测量台阶高度和表面纹理，还能测量金属蚀刻速率的均匀性。并为关键尺寸的纳米级表面测量提供支持。
主要特点为台阶高度测量重复性高、测量精度30nm、最大扫描范围15mm。
Technical indicators
55mm；
524μm(标准）；
0.6nm；
1－15mg；
150mm，可360°旋转。
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