USE
SiO2、Si3N4、ALN等半导体、介质材料、聚合物的薄膜厚度测量 。
利用同一光源光发射出来的可干涉光，在不同波长出现上升或消减的干涉，从而测量的反射光根据薄膜厚度出现sin或只有波谷的波形。
Technical indicators
非接触式 ；
反射计；
8寸 ；
200 x 200mm；
20nm-5μm 。
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