品牌：camtek
所在地：苏州
产品型号：NXX-220551482
USE
用于蒸发Ti、Al、Ni、Cr等普通金属和Pt、Au等贵重金属，部分金属最大蒸发厚度可至1000nm
高真空环境下，电子枪灯丝加热后，发射热电子，热电子受电场加速，获得很大的动能，在永磁铁或电磁铁的约束下，偏转到蒸发源表面，轰击材料并使其汽化，从而达到蒸发的目的
支持2、4、6、8inch晶圆，一次可蒸镀两寸片最多74片，四寸片24片，六寸片8片，八寸片4片，样品尺寸向下兼容，薄膜不均匀性≤±3%
Technical indicators
蒸发速率0.01nm/s-2nm/s，预蒸发功率10%-45%，蒸发功率0-60%
普通金属（Ni、Al、Ti）5nm-2000nm
5E-4Pa，温度：20-300℃
recommended
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