USE
适用于4/6英寸非透明样品进行涂胶工作。
利用精密的机械装置和微电脑控制系统,实现高准度温度、时间控制和转速监控等功能。
1.非完整样品无法进行工艺。 2.透明样品无法直接进行工艺，需要做特殊处理。
Technical indicators
4/6寸晶圆片；
30-180℃；
0-6000转；
≤0.5%。
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