USE
适用于4/6英寸晶圆进行显影工作。
利用精密的机械装置和微电脑控制系统,实现高准度时间控制和转速监控等功能。
非完整样品无法进行工艺。
Technical indicators
4/6寸晶圆片；
0-6000转；
≤0.5%；
0.45μm。
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