USE
ITO光学薄膜蒸镀。
高真空环境下，电子枪灯丝加热后，发射热电子，热电子受电场加速，获得很大的动能，在永磁铁或电磁铁的约束下，偏转到蒸发源表面，轰击材料并使其汽化，从而达到蒸发的目的。
蒸镀时腔体支持加热和通入氧气。
Technical indicators
SiO2、ITO、TiO2；
蒸发速率0.5A/s-5A/s，蒸发功率0-40%；
1E-3Pa；
20-350℃，气体（O2）。
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